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具有三个加热区的 CVD 管式炉 - OTF-1200X-S 单温区开式真空管炉采用双层空冷结构。 - 炉体表面温度保持在60℃以下。 - 采用高温真空吸附法，以高纯度氧化铝微晶纤维为原料，制造出带泵送系统的管式炉。 - 进口加热电阻丝程序插入件延长了高温管式炉炉体的使用寿命。