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具有三个加热区的 CVD 管式炉 - OTF-1200X单温区开放式真空管式炉,采用双层风冷结构。 - 炉体表面温度保持在60℃以下。 - 带抽气系统的管式炉采用高纯氧化铝微晶纤维,采用高温真空吸附制成。 - 采用进口加热电阻丝程序镶件,延长高温管式炉体的使用寿命。
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