产品描述
AOT-TB-616 高精度旋涂机专为晶圆、玻璃和陶瓷基板的涂覆工艺而设计。它具有 0-10000rpm 无级调速系统、标准 4 英寸真空吸盘（兼容 10-150mm 基板）以及精度为 ±1 秒的时间控制（1-9999 秒可调）。
稳定性好）。配备120W无刷电机和0.01μm级动态平衡技术，确保10nm级薄膜均匀性。全金属机身（7.5kg）内置智能防溅模块，并可选配85L/min无油真空泵。适用于光刻胶、溶胶-凝胶等材料。通过CE/ROHS/CCC认证，提供一年质保，10个工作日内发货，满足微电子实验室、光伏研发和高校教学的需求。
产品名称 | AOT-TB-616 高精度旋涂机 |
健康）状况 | 新的 |
产地 | 中国 |
品牌名称 | AOT |
型号 | AOT-TB-616 |
主电源 | 单相交流电：220伏/110伏，50赫兹 |
电机功率 | 120瓦 |
重量 | 7.5公斤 |
尺寸（长×宽×高） | 30厘米×40厘米×30厘米 |
认证 | CE/ROSH/CCC |
保修单 | 1年 |
型号 | 高精度旋涂机 |
速度 | 300 - 10000 转/分钟 |
旋转真空吸盘直径 | 4 英寸（102 毫米，标准配置） |
可选配置 | 接受直径为 10 至 150 毫米的基板订单 |
时间设置 | 1 - 9999 秒 |
标准包装尺寸 | 260 毫米（宽）× 350 毫米（深）× 260 毫米（高） |
包装详情 | 出口木箱包装 |
配送详情 | 10个工作日 |
可选备件：
1. 85升/分钟，无油泵
2. 特殊真空吸盘（6英寸、3英寸、2英寸、1英寸及更小）
产品展示
AOT-TB-616 高精度旋涂机
AOT-TB-616 高精度旋涂机，10000rpm 无级调速，4 英寸真空吸盘，适用于 150mm 基材，10nm 级薄膜厚度均匀性，CE/ROHS/CCC 认证，10 个工作日内快速交付，为实验室和工业提供涂层解决方案。
展览
AOT 锂电池设备展览会为参展商和观众提供了一个集展示、交流、合作和贸易于一体的综合平台。通过参展，企业可以了解行业动态，拓展市场渠道，提升品牌形象，并促进技术创新和产业升级。
证书
合作方
常问问题
Q1：旋涂机是否支持对 6 英寸晶圆进行涂覆？
答：标准配置包含一个 4 英寸卡盘。另有一个专用的 6 英寸卡盘可选（订购时必须注明），可最大程度地稳定吸附 150 毫米的基材。
Q2：转速范围为 300-10,000 rpm 时的精度误差是多少？
答：采用闭环伺服控制，满量程速度偏差小于0.5%。可编程加速度曲线使其能够兼容分步涂覆工艺。
Q3：保修范围包括真空泵吗？
答：主机保修一年。可选的无油真空泵单独保修六个月，易损件除外。
Q4：无油真空泵与传统真空泵相比有哪些优势？
答：85升/分钟无油泵消除了洁净室环境中的油雾污染，将噪音降低至52分贝，并将维护间隔延长至2000小时。
Q5：10个工作日的交货期是否适用于定制配置？
答：标准配置保证10天内交货。带有特殊卡盘或真空泵的订单，交货时间将延长3-5个工作日。
