产品描述
AOT-VTC-100A全自动数字旋涂机/真空旋涂机专为4英寸晶圆和不规则基板设计。该设备采用耐腐蚀聚丙烯液体托盘和三级真空吸盘，支持500至8000 rpm两级可编程转速控制，精度为±1%。它集成了无油真空泵接口和可调注射器支架，适用于粘度为0.5至5000 cPs的溶胶材料，单次涂覆时间可在1至60秒内调节。标配胶带和微型吸盘，兼容5×5mm至10×10mm的不规则基板，膜厚均匀性为±2%。机器重量15kg，尺寸330 x 254 x 216mm，即插即用，可满足半导体、MEMS和光学薄膜实验室的高效涂覆需求。
产品模型 | AOT-VTC-100A |
结构 | 采用铝铸外壳，以保持稳定旋转 液体盘由聚丙烯（PP）制成，可耐受大多数腐蚀性溶液。 排水口和真空泵接口位于后面板上。 标准包装内含一个过滤器。它用于连接涂布机，以防止废水流入泵内。 标准包装内含一台无油真空泵，请点击此处查看规格详情。 |
腔室和真空卡盘
| 腔室直径：145 毫米 3 套 PP 防腐蚀真空吸盘，带吸盘 O 型圈，尺寸分别为 1 英寸、2 英寸和 4 英寸。 内含 1 片胶带（6 英寸宽 x 24 英寸长），用于涂覆不规则形状的基材（例如，将不规则基材放在胶带上，然后真空吸盘将通过吸力固定胶带）。 适用于直径小于 1" 的小型晶圆或规则形状（5x5 或 10x10 毫米）或不规则形状基板的迷你吸盘。请点击此处订购，需额外付费。（见右下图） |
真空泵（不包含）
| 自 2022 年 9 月 7 日起，120L/min 无油真空泵不再包含在内。 随附真空级橡胶管，可立即使用。 |
旋转速度和时间
| 数字控制面板，带有两个可编程段，分别用于不同的旋转时间和速度。 转速：500 - 8000 转/分钟 旋转时间：1-60秒 |
液体注入 | 使用20毫升注射器盛装涂层材料。 注射器支架的高度可以调节，并且可以沿支撑杆自由旋转。
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输入电压 | 旋涂机：24V直流电源，配100-240V交流电源适配器，150W 真空泵：110VAC 或 220VAC，请在选项栏中选择电压（10A 保险丝） |
电机功率 | 24V直流电机，最大功率150W。 |
产品尺寸 | 330.2毫米（长）x 254毫米（宽）x 215.9毫米（高）
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重量 | 15公斤 |
用于实验室旋涂的自动数字旋涂机和真空旋涂机
AOT-VTC-100A 全自动数字旋涂机和真空旋涂机，4 英寸晶圆专用，500-8000rpm 两段式编程，耐腐蚀 PP 真空吸盘，兼容不规则基材溶胶-凝胶涂层，实验室级高精度薄膜厚度控制，即插即用紧凑设计。
展览
AOT 锂电池设备展览会为参展商和观众提供了一个集展示、交流、合作和贸易于一体的综合平台。通过参展，企业可以了解行业动态，拓展市场渠道，提升品牌形象，并促进技术创新和产业升级。
证书
合作方
常问问题
Q1：如何安装 3" 或非标准尺寸的基板？
A：使用标准胶带将基材固定到 4 英寸吸盘或可选的定制微型吸盘（5x5 毫米至 10x10 毫米）上，以确保通过真空吸附实现涂层稳定性。
Q2：如果不包含紧凑型旋涂机，无油真空泵如何工作？
A：应另行购买一台兼容的真空泵（建议流量≥120L/min），并通过设备背面的接口连接，以确保真空度达到-80kPa，从而保证底物的稳定吸附。
Q3：紧凑型旋涂机是否适用于高粘度溶胶（5000cPs）？
A：建议紧凑型旋涂机将转速降低至 500-2000rpm，并将涂覆时间延长至 30 秒以上，如有必要，可将溶胶预热至 25-30℃ 以提高流动性。
Q4：如何清洁PP托盘以避免交叉污染？
答：涂覆后立即用去离子水冲洗。对于有机溶剂体系，用乙醇超声清洗5分钟，严禁使用强酸强碱擦拭。
Q5：注射器支架可以适配50mL规格吗？
答：标准支架支持20mL注射器。对于更大容量的液体，可手动调节并固定支架高度，建议分小量注入，以确保涂层均匀。
