主要用于液体和胶体的成膜性能测试以及表面涂层工艺。
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AOT-VTC-100A 是一款紧凑型旋涂机,配备真空吸盘,专为通过溶胶-凝胶法轻松快速地涂覆最大 4 英寸晶圆而设计。旋涂速度可在 500-8000 rpm 范围内调节,并设有两段可编程转速。包装内含全套配件,可立即投入使用。
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AOT-TB-616 高精度旋涂机,10000rpm 无级调速,4 英寸真空吸盘,适用于 150mm 基材,10nm 级薄膜厚度均匀性,10 个工作日内快速交付,为实验室和工业提供涂层解决方案。
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